

无尘净化车间的净化等级主要有国际ISO标准、美国联邦标准FS 209E(已废止但仍被参考)和中国国标(GB/T) 这三套体系。其中,国际ISO 14644-1标准是目前全球通行的核心标准。
为了让你更清晰地了解,以下是常见的净化等级标准对比:
💡 ISO 14644-1 国际标准(现行主流)
· 标准代号与等级:ISO Class 1 至 ISO Class 9
· 对应美国FS 209E等级(参考):ISO 5级 对应 Class 100,ISO 6级 对应 Class 1,000,ISO 7级 对应 Class 10,000,ISO 8级 对应 Class 100,000。
· 核心要求(以≥0.5μm颗粒物为例):
· ISO 5级:≤ 3,520 个/立方米。
· ISO 6级:≤ 35,200 个/立方米。
· ISO 7级:≤ 352,000 个/立方米。
· ISO 8级:≤ 3,520,000 个/立方米。
· ISO 9级:≤ 35,200,000 个/立方米。
· 主要应用领域:ISO 1-5级:高端半导体(如3nm/7nm芯片)、精密光学。ISO 5-8级:制药无菌操作、医疗器械、精密装配、食品无菌包装等。
💡 美国联邦标准 FS 209E(历史标准,行业仍常用作对照)
· 标准代号与等级:Class 100, Class 1,000, Class 10,000, Class 100,000
· 对应ISO标准等级:Class 100 对应 ISO 5级,Class 1,000 对应 ISO 6级,Class 10,000 对应 ISO 7级,Class 100,000 对应 ISO 8级。
· 核心要求(以≥0.5μm颗粒物为例):
· Class 100:≤ 100 个/立方英尺(约3,530个/立方米)。
· Class 1,000:≤ 1,000 个/立方英尺。
· Class 10,000:≤ 10,000 个/立方英尺。
· Class 100,000:≤ 100,000 个/立方英尺。
· 主要应用领域:与对应的ISO等级应用领域基本相同,常见于沿用旧术语的行业或文档。
💡 中国标准 GB/T 25915.1-2021(等同采用ISO 14644-1)
· 标准代号与等级:等同于ISO Class 1至Class 9
· 对应关系:该标准在技术上完全等同于国际标准ISO 14644-1:2015。因此,其等级划分、颗粒物浓度限值与ISO标准完全相同。
· 核心要求:与上述ISO标准数据完全一致。
· 主要应用领域:国内所有需要洁净环境的行业,如医药、电子、医疗器械等。
如何选择合适的净化等级
选择等级主要取决于你的生产工艺对污染的敏感程度:
· 半导体/微电子:要求极高,例如生产7纳米以下芯片需要ISO 3级(每立方米≥0.1μm颗粒不超过1000个),而3纳米制程可能需要达到ISO 1级。
· 制药与无菌医疗器械:核心区域(如无菌灌装、手术器械生产)通常需要ISO 5级(百级) 或在ISO 7级(万级) 背景下设置ISO 5级(百级) 的局部层流罩。
· 精密机械、光学、食品无菌包装:通常要求ISO 6级(千级)至ISO 8级(十万级)。
注意事项
· 关注核心粒径:不同行业关注的微粒粒径不同。例如,制药行业更关注≥5.0μm的微粒(因其可能携带微生物);而半导体行业则需严格控制≥0.1μm的微粒。
· “级”与“级”的区别:在中文语境中,常说的“百级”、“万级”源自美国FS 209E标准(如Class 100),而非直接对应ISO标准数字。但通常可以认为:百级≈ISO 5级,万级≈ISO 7级,十万级≈ISO 8级。
· 动态与静态:车间的洁净度状态分为空态、静态、动态三种。设计验收通常基于静态,但实际生产运行在动态下,需要严格的人员和物料管理来维持洁净度。